태양광 산업에서 단결정 실리콘의 품질은 단결정 실리콘의 품질과 직접적인 관련이 있습니다. 적합한 열장은 고품질-단결정을 성장시킬 수 있습니다. 따라서 좋은 열장 조건을 조성하는 것은 Czochralski 단결정 공정에서 매우 중요한 요소입니다. 흑연은 단결정 성장의 캐리어입니다. 고순도- 흑연 및 등압성형 흑연 가공 부품은 주로 흑연 Czochralski 단결정 성장로에 사용됩니다.
실제 상황의 필요에 따라 열장의 크기는 석영 도가니의 직경에 따라 구분됩니다. 현재 우리나라의 열장은 Φ12"~Φ28" 범위이며, 일반적으로 Φ18"~Φ22"가 대다수를 차지하고 있다.
여기서 언급된 단결정 용광로의 열 시스템은 소위 -열장입니다. 열장은 일반적으로 압력 링, 절연 커버, 상부, 중간 및 하부 절연 커버, (3-플랩) 흑연 도가니, 도가니 지지대, 도가니 트레이, 전극, 히터, 가이드 튜브 및 흑연 볼트를 포함합니다. 향후 실리콘 누출을 방지하기 위해 노 바닥, 금속전극, 지지봉에 보호판과 보호슬리브를 설치합니다.
1. 히터
히터는 열장에서 매우 중요한 구성 요소입니다. 직접 발열체입니다. 온도가 높으면 1600도 이상에 도달할 수 있습니다. 일반적인 히터에는 원통형, 컵형, 나선형의 세 가지 모양이 있습니다. 일반적으로 히터는 고순도-흑연으로 가공됩니다.
2. 흑연전극
흑연 전극은 히터를 제자리에 고정하고 히터를 통해 전류를 전달하는 역할을 합니다. 따라서 전극은 두껍고 강하며 내구성이 있어야 하며 표면은 매끄럽고 안정적이어야 접촉면이 좋아 전원을 켰을 때 스파크가 발생하지 않습니다. 흑연 전극도 고순도-흑연으로 가공됩니다.
3. 흑연 도가니, 흑연 지지대, 흑연 트레이
도가니 지지대, 도가니 및 트레이는 함께 흑연 도가니의 지지체를 구성하며 하부 샤프트와 단단히 결합되고 중립성이 좋아야 합니다. 하부축이 회전할 때 지지봉과 트레이 사이의 간격은 0.5mm 이하입니다. 흑연 지지체의 높이를 조정할 수 있습니다.
4. 단열커버
단열커버는 상부, 중간, 하부 단열커버로 구분됩니다. 단열 커버는 단열 실린더를 감싸는 흑연 탄소 펠트로 만들어졌습니다. 흑연 탄소 펠트의 층 수는 상황에 따라 다릅니다. 하부 단열 커버는 하부 단열 시스템을 형성합니다. 그 기능은 냄비 바닥의 단열을 강화하고 냄비 바닥의 온도를 높이며 열 손실을 줄이는 것입니다.
5. 절연 커버 및 가이드 튜브
단열 커버는 단열 상부 커버, 단열 카본 펠트, 단열 하부 커버로 구성됩니다. 즉, 두 겹의 환형 흑연 사이에 흑연 카본 펠트 층이 끼워져 있습니다. 가이드 튜브는 주로 열장의 온도 구배를 제어하고 향후 아르곤 가스 흐름을 안내하는 데 사용됩니다.
6. 압력 링
흑연 압력 링은 여러 개의 호로 구성된 원형 환형 흑연 조각입니다. 덮개판과 화로 벽체의 접촉점에 위치하여 벽난로와 덮개판 사이의 틈으로 열과 가스가 통과하는 것을 방지합니다.