반도체용 흑연 제품

• 이온 이식을위한 흑연 예비 부품

  이온 임플란트는 반도체 생산에서 중요한 과정입니다 . 임플란트 시스템 전도도 또는 결정 구조와 같은 재료 특성을 변화시키기 위해 외래 원자가있는 마약 웨이퍼 . 빔 경로는 임박 시스템의 핵심 .입니다.

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• 반도체 공정을위한 흑연 금형 부품

  반도체 산업을위한 우리의 흑연 금형은 우수한 내열, 열전도율, 낮은 불순물 함량 및 이온 빔 부식에 대한 저항으로 인해 이온 임플란트 및 플라즈마 에칭 장비에 널리 사용됩니다. .

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• 흑연반도체

  흑연반도체는 공업생산에 널리 사용되는 기초공정장비로 국가경제의 기초산업인 반도체 패키징 흑연금형이라고도 한다.

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